XCV系列采用Akribis音圈电机,具有高精度以及高频率的特点。适用于中载,高频高精度的应用。适用于亚微级定位,取放,力控制。
设计特点:
A. 音圈电机直接驱动直线机械平台
B. 无嵌齿效应,无背隙
C. 适用于短行程,高速高加速直线应用
规格参数 |
单位 |
MBV20 |
MBV35 |
有效行程1 |
mm |
60 |
8.0 |
电机型号 |
- |
AVM20-HF-6-C28-3.0A |
AVM35-HF-8-C35-3.0A |
持续力 |
N |
5.69 |
27.43 |
峰值力 |
N |
17.06 |
137.16 |
分辨率 |
μm |
ABI21: 1.0/0.5/0.2 |
|
AT2: 0.2/0.1 |
|||
重复定位精度 |
μm |
±2.5 |
|
直线度 |
μm |
±5.0 |
±5.0 |
平面度 |
μm |
±5.0 |
±5.0 |
额定负载2 |
kg |
0.3 |
2.0 |
空载运动质量 |
kg |
0.035 |
0.14 |
空载总质量 |
kg |
0.14 |
0.65 |
最大容许负载 |
kg |
0.4 |
3.0 |
最大容许侧倾力矩 |
Nm |
* 3 |
* 3 |
最大容许俯仰力矩 |
Nm |
* 3 |
* 3 |
最大容许横摆力矩 |
Nm |
* 3 |
* 3 |
注:
1.有效行程的定义根据防撞块至防撞块,即机械行程。该机台为短行程机台,有效行程即机械行程
2.在此负载下,平台可以提供不少于1G的加速度。
3.该机台不适用于力矩负载,更多细节请联系雅科贝思销售人员。
MBV20
MBV35