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TDS-XY 系列

TDS-XY下轴使用三根导轨达到更好的性能,支持更长长行程的上轴。使用定制的带气管紧凑排线,是半导体行业的理想选择。

设计特点:

A. 下轴使用三根导轨,支持更长长行程的上轴

B. 使用定制的带气管紧凑排线

 

性能参数

单位

L

U

有效行程

mm

500

500

额定负载

Kg

20

空载运动质量

Kg

40

7

最加大速度

m/s2

10

10

最大速度

m/s

1

1

电机型号

-

AUM5-S3

AUM4-S3

持续推力

N

295

166

峰值推力

N

2122

936

编码器参数

μm

0.05/0.5/SINCOS

0.05/0.5/SINCOS

最小机械步长

μm

0.5

0.5

重复定位精度

μm

±1.0

±1.0

绝对定位精度

μm

±10.0

±10.0

直线度

μm

±10.0

±10.0

平面度

μm

±10.0

±10.0

横摆角

arc sec

±10.0

±10.0

俯仰角

arc sec

±10.0

±10.0

正交性

arc sec

10.0

空载平台总质量

Kg

350

注:

1.此参数表是此种类型平台的典型值。

2.请联系我们获取更多选项。

 

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